Forvakuumtransportøren (belastningslås) og hoveddelen af ​​overførselsplatformen

Forvakuumtransportøren er et overføringskammer til atmosfæren og vakuum, som bruges til at isolere reaktionskammeret fra direkte kontakt med den ydre atmosfære for at sikre reaktionskammerets renhed og reducere sandsynligheden for forurening af reaktionen kammer. Når front-end-modulet skal hente og placere waferen til præ-vakuum-transportøren, skal den fyldes med nitrogen, lufttrykket i hulrummet justeres til den atmosfæriske tilstand, og derefter transmissionsventilen på præ-ventilen. -vakuumtransportør på siden af ​​frontmodulet åbnes for at plukke og placere waferen; Ved opsamling og placering af wafers fra overføringskammeret (en del af overføringsplatformen) til præ-vakuum overføringslegemet, er det nødvendigt at bruge en vakuumpumpe til at pumpe gassen ud i præ-vakuum overføringslegemet, justere til vakuumet tilstand, og åbn derefter overføringsventilen på den anden side af præ-vakuum overføringslegemet, og udfør derefter wafer pick-and-place.

De specifikke trin for waferen, der skal transporteres i overførselssystemet, er som følger: alle døre er lukkede → wafer-indlæsningsporten åbnes, døren til waferkassetten åbnes → den atmosfæriske manipulator griber waferen fra waferbåden på kassetten → waferen er placeret på aligneren→ waferens position er kalibreret→ nitrogengas fyldes i LoadLockA→ døren til LoadLockA åbnes→ den atmosfæriske manipulator placerer waferen i LoadLockA→ lukker døren til LoadLockA→ LoadLockA støvsuger → åbner døren til reaktionskammeret → Den tomme manipulator sætter waferen ind i reaktionskammeret → reaktionen finder sted → efter reaktionen er afsluttet, bliver reaktionskammeret støvsuget → døren til overføringskammeret åbnes → vakuummanipulatoren flytter waferen til overførselskammeret→ lukker døren til reaktionskammeret→ åbner døren til LoadLockB, → vakuummanipulatoren flytter waferen til LoadLockB→ lukker døren til LoadLockB→ LoadLockB er fyldt med nitrogen → åbner døren til LoadLockB→ atmosfærisk manipulator flytter waferen ud af LoadLockB → lukker LoadLockB